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    [推薦]不同輪廓亞波長(zhǎng)光柵的成像 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-09
    1. 摘要 VjZ|$k  
    W[e$>yK  
    亞光波長(zhǎng)光柵在用傍軸光照射時(shí)僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí),因此在這種情況下不會(huì)形成圖像。 為了克服此問(wèn)題,可以使用非傍軸照明。在本例中,高NA聚光透鏡被用來(lái)為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明,衍射場(chǎng)被另一個(gè)高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過(guò)程,包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長(zhǎng)光柵。 U$z-e/  
    Lk}J8 V^2  
    2. ·建模任務(wù) = m#?neop  
    ]&+s6{}  
    +a{1)nCXe  
    3. 結(jié)果 /@TF5]Ri  
    BUXpC xQ  
    >_