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1. 摘要 ``K.4sG |'b=xeH.^< 亞光波長(zhǎng)光柵在用傍軸光照射時(shí)僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí),因此在這種情況下不會(huì)形成圖像。 為了克服此問題,可以使用非傍軸照明。在本例中,高NA聚光透鏡被用來(lái)為不同輪廓的光柵提供高聚焦照明,衍射場(chǎng)被另一個(gè)高NA物鏡收集。 VirtualLab可以模擬這種成像過程,包括用傅立葉模態(tài)法精確模擬亞波長(zhǎng)光柵。 }=az6cLE2 a/{T;=_GY 2. ·建模任務(wù) mf^(Tq[ pX*Oc6.0mu %)u5A!" 3. 結(jié)果 ?:~Y%4; 7YkxIzE dEJ>8e8 4. 文件和技術(shù)信息 rW&8#& zf4@:GM` LH3PgGi,
QQ:2987619807
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