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    [推薦]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-10-16
    成像系統(tǒng)>包括光柵 AA7#c7  
    HP$K.a7H  
    任務(wù)/系統(tǒng)說(shuō)明 VC=6uB  
    B/Ba5z"r$  
    $'$>UFR  
    9U10d&M(  
    亮點(diǎn) %}F"*.  
    HIPL!ss]  
    $j !8?  
    bhKV +oN  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中,包含光柵(如,非常大的數(shù)值孔徑(NA)) :GM#&*$2<  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 +{xG<Wkltz  
     考慮入射光的方向分布 5<r)+?!n  
    &PWf:y{R`  
    說(shuō)明:光源 EVSK8T,  
    fNEz  
    Fd"WlBYy0  
    :bw6