作者：ISRAEL GROSSINGER, SHLOMIT KATZ, NATAN KAPLAN, and ALEX SKLIAR =79R;|5 文章來源：Laser Focus World激光聚焦世界http://www.laserfocusworld.com/articles/print/volume-53/issue-09/features/diffractive-optics-how-ultrashort-laser-pulses-influence-beam-shaping-optics.html 2Kz+COP+
[fa4 光學(xué)仿真工具可以全面剖析超短激光脈沖如何影響衍射光學(xué)元件的光束整形特性和能力。 Pj-INc 96
' {,xQf*x 隨著超短脈沖（USP）激光器（也稱為超快激光器）在工業(yè)應(yīng)用中變得越來越普遍，特別是當(dāng)納秒脈沖USP激光器被更快的飛秒器件取代，使用衍射光學(xué)元件（DOE）的光束整形應(yīng)用變得更具挑戰(zhàn)性。 Y 7VO:o
: -k|jt VirtualLab是由LightTrans International(Jena, Germany; www.lighttrans.com)開發(fā)的物理光學(xué)仿真工具，可以用于大多數(shù)DOE元件（包括分束器和光束整形器）的仿真，利用這款軟件，我們在Holo / Or的團(tuán)隊(duì)研究了USP激光器對DOE功能的影響。研究發(fā)現(xiàn)盡管對于大多數(shù)光束整形器來說，DOE的影響可以忽略，但對于諸如基于光柵的DOE之類的大角度分束器，可以看到顯著的且不期望的色散效果。 i
U$ ~H Fr8GGN~/ 圖1. 對于m = 1且輸入光束直徑為4 mm的渦旋透鏡元件（a），對輸入800 nm高斯脈沖得到的結(jié)果（b）和輸入100 fs USP激光脈沖得到的結(jié)果（c）進(jìn)行比較，沒有明顯差異。
St-uE |8 DOE基礎(chǔ)知識 ^QRg9s,T<
}6c>BU}DF 對于許多應(yīng)用而言，DOE可以用于產(chǎn)生一些傳統(tǒng)的反射或折射光學(xué)元件無法達(dá)到的獨(dú)特光學(xué)功能，在系統(tǒng)配置方面更加靈活。與折射解決手段相比，DOE具有很多優(yōu)勢，包括尺寸小、單個(gè)元件具有多種功能、角度精度高、厚度小和相比于折射解法時(shí)間色散較小等。 J/?Nf2L4
~ y!'\d>q< 操作原理非常簡單：對于準(zhǔn)直入射光束，輸出光束以預(yù)先設(shè)計(jì)的分離角度和強(qiáng)度出射DOE，通過光束整形器，激光束被聚焦成設(shè)計(jì)好的尺寸和形狀。 DOE的常見應(yīng)用包括醫(yī)療系統(tǒng)、測量以及科學(xué)/研究應(yīng)用——特別是DOE提供的激光束成形和均勻化技術(shù)對于材料加工至關(guān)重要1。 $>XeC}"x68
i/ ilG 3m> 雖然DOE用途廣泛，功能強(qiáng)大，但由于功能強(qiáng)烈依賴于光波波長2 ，其具有很高的色散效應(yīng)。當(dāng)使用USP激光器時(shí)，由于脈沖持續(xù)時(shí)間短，可能會產(chǎn)生異常的光譜特性，這一現(xiàn)象引起了人們的關(guān)注。由于工作波長不同于其標(biāo)稱值，USP的寬光譜范圍會對使用DOE的光束整形產(chǎn)生影響，因此當(dāng)使用一定范圍的波段而不是單個(gè)波長時(shí)，需要預(yù)測整形光斑將如何變化。 ~.m<`~u
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V. c6 根據(jù)傅里葉理論，時(shí)域中的脈沖持續(xù)時(shí)間越短，頻域中的頻譜寬度越大。這導(dǎo)致USP激光器呈現(xiàn)時(shí)間色散效應(yīng)。對于中心波長為800nm的高斯脈沖，典型的脈沖展寬為Δλ= 1 nm，對應(yīng)于1000 fs脈沖，Δλ= 10 nm對應(yīng)于100 fs脈沖。 o|(5Sr&H
= ^nb+}Nz( 光束整形與分束 +J X;T(T
M<fhQJ DOE產(chǎn)品有兩個(gè)主要系列：分束器和光束整形器。分束器是用于將單個(gè)激光束分成幾個(gè)具有不同能量水平和傳播角度光束的DOE。根據(jù)元件表面上的衍射圖案，分束器可以產(chǎn)生一維光束陣列（1×N）或二維光束矩陣（M×N）。光束分束器與單色光一起使用，并被設(shè)計(jì)用于特定的波長和輸出光束之間的分離角。 ^"/^)Lb!@M
>M,oyM" s 光束整形器是用于將近高斯入射激光束變換成在特定工作平面中具有明顯邊界的圓形、矩形、正方形、線或其它形狀的強(qiáng)度均勻光斑的DOE。通過光束整形器實(shí)現(xiàn)的均勻強(qiáng)度分布能夠均勻地處理表面，防止對工件的過度曝光或曝光不足。此外，光斑的特征在于存在一個(gè)鮮明的過渡區(qū)，使得在處理區(qū)域和未處理區(qū)域之間形成清晰的邊界。光束整形器包括均化器，平頂光束整形器，渦旋透鏡（螺旋相位板）和衍射錐透鏡。 1PkCWRpR
u]J@65~'b 分束器和光束整形器可以與多模（MM）或單模（SM）輸入光束一起使用，并且由于其制造的材料的高損傷閾值，可以用于大功率激光系統(tǒng)，包括如熔融石英，硒化鋅（ZnSe）和藍(lán)寶石。 h4? x_"V"
qos7u91 z !Lf<hS^ 圖2. 基于簡單光線追跡原理（a）的衍射錐透鏡產(chǎn)生圓環(huán); 錐透鏡DOE的輸入脈沖是800 nm高斯脈沖或100 fs USP對錐透鏡出射的結(jié)果（b和c）影響不大。
9Eyx Ob USP對光束整形的影響 k"(] V
N4!`iS Y 當(dāng)幾飛秒的極短脈沖USP激光入射到具有周期性光柵結(jié)構(gòu)的分束器DOE上時(shí)，可以觀察到許多不同的現(xiàn)象，包括出現(xiàn)橢圓形而非圓形光斑，光斑尺寸增加或顯著的零級衍射。對標(biāo)稱波長λ1，我們設(shè)計(jì)并加工了一個(gè)分束器DOE。其相位在空間中復(fù)制，從而形成周期性的光柵結(jié)構(gòu)。當(dāng)使用不同的波長λ2時(shí)，衍射角依據(jù)光柵方程發(fā)生變化。 9)q3cjP{<
.V?:&_}_I6 對于小衍射角θ（<12°），衍射角和相應(yīng)波長之間的關(guān)系定義為： QU|_
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yGZsNd {a& Δd = ƒ • (θλ1 - θλ2) = ƒ • θλ1 • (1 - λ1 / λ2) j9+$hu#a 其中，Δd 表示λ1和λ2的光斑中心偏差，f表示所用透鏡的焦距，θλi是波長λi的衍射角。根據(jù)該方程，每個(gè)波長有不同的衍射角，且其相應(yīng)光斑將略微移動到不同的位置。如果中心偏差與焦平面上的光斑尺寸數(shù)量級相仿，則光斑為橢圓形。 G'ykcB._
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