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L$m - 量化界面 "q@m6fs - 鏡子/棱鏡/光柵單元陣列 MK$u}G .L'w/"O 亮點(diǎn) ;JW_4;- 導(dǎo)出各種表面形狀的制造數(shù)據(jù) bz>X~
導(dǎo)出像光刻制造技術(shù)的二元掩膜的量化界面 }aCa2% FL0uY0K -%K!Ra\W 一般界面的制造數(shù)據(jù) gv#\}/->4 sV^:u^ jG5HW*>k0 4w4B\Na>l 支持文件格式: cTqkM@S - 純文本 >@ t - ASCII碼 <g4}7l8 - 點(diǎn)云 2ZH+fV?. - CAD格式(例如,STL,IGES) taQE
r2Zy 2iAC_"n STL導(dǎo)出平滑界面(例如Asphere) nQ%HtXt; JTlk[c 采樣高度剖面的STL導(dǎo)出 I<SgKva;c y4V:)@P l6viP}R /r}L_wI 量化界面的GDSII導(dǎo)出 :Mf" 量化的界面數(shù)據(jù)可以直接導(dǎo)出到GDSII的文件格式。 p
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