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    [分享]應(yīng)用衍射擴(kuò)散器均勻化準(zhǔn)分子激光光束 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-10
    HSL.002(4.0) )1 =|\  
    )kuw&SH,  
    摘要：這個(gè)案例分析了由衍射擴(kuò)散器元件實(shí)現(xiàn)的單色準(zhǔn)分子激光光束的均勻化，最終生成一個(gè)圓形高帽。 {wyf>L0j  
    wC4:OJ[d  
    1.建模任務(wù) ju%t'u\'  
    PXJ`<XM  
    0F|DD8tHR  
    2.光源參數(shù) d vTsbs/6  
    n;,>Fv  
    M}*#{UV2  
    3f^~mTY9>]  
    ^VAvQ(b!:i  
    • LED模型：Gaussian Type Planar Source（高斯型平面光源） \`$RY')9|!  
    • 光源平面直徑：100μm×100μm 2*9rhOK*  
    • 空間相干長度：3μm×3μm ~f:jI1(}  
    • 相應(yīng)的發(fā)散角（HWHM）：～0.89×0.89° 3^J~ts{*  
    • 波長：351nm 1E|~;wo\  
     GUqhm$6a  
    3. 衍射擴(kuò)散器透過率函數(shù) SFRQpQ06  
    *>f-UNV  
    6m!%X GZ T  
    一個(gè)衍射勻光元件,可以使用一個(gè)具有如下技術(shù)參數(shù)的衍射擴(kuò)散器透過率函數(shù)來模擬： (XJ0?;js=  
    • Phase-Only元件 I]OVzM  
    • 采樣距離：5μm =Zc Vywz;+  
    • 大小：640μm×640μm .P>-Fh,_p  
    • 相位級：8 \ 4r?=5v*  
    • 生成的目標(biāo)模式：圓形高帽 c<J/I_!  
    UM QsYD)  
     9Di@r!Db  
    g4fe(.?c,  
    4. 光源的輻射特性 iQnIk| 8  
    Rr0@F`"R  
    MEZc/Ru-[  
    光源的輻射特征由光源平面尺寸以及以下參數(shù)定義: &T) h9fyc  
    • 發(fā)散角 c _faW  
    • 空間相干長度 g<"k\qs7  
    • 或模式的腰束半徑。 7TW</g(  
    g0 NSy3t  
     %juR6zB%8  
    m:A1wL4c6  
    5. 空間擴(kuò)展光源建模 qq1@v0  
    GDMg.w 4Yk  
    J&bhR9sF  
    • Gaussian Type Planar Source通過數(shù)個(gè)相同的橫向偏移高斯模式,在光源的出射面以非相干的形式來模擬一個(gè)部分相干光源。 TaN]{k  
    • 對于這個(gè)案例，最終使用了11x11個(gè)足夠多的橫向模式來模擬光源。 "/MA.zEl0,  
    Z(=U ZI?  
     RN"O/b}qQ  
    6.系統(tǒng)：光路圖（LPD） DD]e0 pa  
    • 在光源和擴(kuò)散器元件之間，放置了一個(gè)焦距為20mm的理想透鏡以用于光源的準(zhǔn)直。 b\^q9fy  
    • 衍射擴(kuò)散器元件由Stored (Transmission) Function（存儲(chǔ)（透過率）函數(shù)）表示，在此設(shè)置所設(shè)計(jì)的衍射擴(kuò)散器的數(shù)據(jù)。 bn8`$FA^  
    • 這個(gè)元件的設(shè)計(jì)和優(yōu)化由衍射光學(xué)工具箱（Diffractive Optics Toolbox）完成。 %oY=.Ok ]  
    %m5&U6  
    c7fQ{"f 3B  
    u:FFZ  
    7. 存儲(chǔ)透過率函數(shù) ?U;KwS]%  
    (T]<  
      T.{sO`  
    mm,be.  
    • 對于規(guī)律的量化相位透過率函數(shù)，可以用存儲(chǔ)函數(shù)元件中的縮放因子來模擬可能產(chǎn)生的加工偏差。     1VD8y_tC  
    ^`&?"yj<z  
    8. 生成的諧波場集（光視圖） g)@d(EYY  
    KNw{\Pz~w  
    dY'mY