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    [分享]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-18
    激光掃描系統(tǒng)（LSC.0002 v1.0） g{@q  
      5;+OpB  
    應(yīng)用案例概述     /TTmMx*  
    BN&^$1F((  
    系統(tǒng)細(xì)節(jié) d `LBFH,  
    &B uO-  
    光源 UY*3b<F}  
    – 綠光二極管 ^)&d7cSc  
    元件 i]8HzKuiW  
    – 雙軸振鏡掃描儀 'rJkxU{  
    – F-Theta物鏡 z'K&LH  
    探測器 7aVQp3<  
    – 場曲和畸變探測器 {J2*6_  
    – 光束強(qiáng)度剖面探測器 <6`_Xr7)  
    – 焦點(diǎn)區(qū)域探測器 ^PIU A'  
    – 光束參數(shù)探測器 K &m`1f  
    模擬/設(shè)計(jì) !es?GJq`  
    – 光線追跡：分析掃描場尺寸，場曲以及畸變 oLEqy  
    – 場追跡：考慮衍射效應(yīng)，進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 !(PAUW S@  
    !|{T>yy  
    系統(tǒng)說明 K1