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    [分享]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-11-18
    激光掃描系統(tǒng)（LSC.0002 v1.0） yzbx .  
    E ]A#Uy  
    應(yīng)用案例概述     _X^1IaL  
    =)M/@T  
    系統(tǒng)細(xì)節(jié) ypbe!Y<i]  
    ~bM4[*Q7  
    光源 $? m9")  
    – 綠光二極管 -V-RP;">  
    元件 PlU*X8  
    – 雙軸振鏡掃描儀 <{dVKf,e  
    – F-Theta物鏡 _Zp}?b5Q  
    探測器 *rM^;4Zt  
    – 場曲和畸變探測器 j@W.&- _  
    – 光束強(qiáng)度剖面探測器 *;l]8.  
    – 焦點(diǎn)區(qū)域探測器 T%.8 '9  
    – 光束參數(shù)探測器 9v;Vv0k_  
    模擬/設(shè)計(jì)  ,V,`Jf  
    – 光線追跡：分析掃描場尺寸，場曲以及畸變 4^p5&5F  
    – 場追跡：考慮衍射效應(yīng)，進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 b(*!$EB  
    ;;_,~pI?k  
    系統(tǒng)說明 6CV* Z\b  
    nGpXI\K  
    W3]_m8,Z  
    激光掃描系統(tǒng)的性能評估 G! ]k#.^A,  
    Nh8Q b/::  
     一個(gè)激光掃描系統(tǒng)的掃描光學(xué)部分包含了一個(gè)掃描儀單元和一個(gè)F-Theta物鏡，在一維掃描過程中（沿入射角Theta），通過分析光束的場曲和畸變來評估其性能。 X@$f$=  
     此外，計(jì)算了不同掃描位置處的光束尺寸和輪廓。 `>gd&u  
    Fz3fwLawI  
    模擬和設(shè)計(jì)結(jié)果 $Z!`Hb  
    wF IegC(  
    -|J"s$yO4  
    其他的VirtualLab特征 D8inB+/-  
     ujDd1Bxf?  
    在此案例中，你將從以下選擇的特征中獲益： ~k\fhx  
     各種探測器 T_s _p  
    - 測量與反射鏡掃描角度相關(guān)的焦點(diǎn)位置 AJf4_+He  
    - 測量探測器平面上的光束位置 &R[ M c-2  
    - 使用焦點(diǎn)區(qū)域探測器計(jì)算焦點(diǎn)區(qū)域中的場  ~3Lg"I  
     參數(shù)耦合 GQ