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測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0001 v1.1) v9,cL. 0 & {|OXiRm' 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 -Jv3D$f]a
Wi5Dl = 1. 系統(tǒng)說(shuō)明 @*L-lx
yn @wce 光源 =
=Q*|L-g — 氦氖激光器(波長(zhǎng)632.8nm；相干長(zhǎng)度>1m) K0o${%'@7 元件 m+7% ]$ — 分束器和合束器，消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)，位相延遲器，待測(cè)球面透鏡 )+Z.J]$O- 探測(cè)器
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