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VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測(cè)量器件。 X
c,UR. 1U~AupHE 很多光學(xué)測(cè)量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有: ]^&DEj{ KcfW+>W3 干涉儀 23y7l=.b/ 光譜儀&單色儀 ,u{d@U^)3@ 表面計(jì)量系統(tǒng) iX.=8~3 nV
McHN VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)這些測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時(shí)間和空間相干性為特點(diǎn)。VirtualLab的場(chǎng)追跡引擎進(jìn)行快速精確的測(cè)量系統(tǒng)建模的同時(shí)考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 zV4%F"- \h :Rw|
g 6>RyjN /,/T{V[ +yS"pOT VirtualLab Fusion軟件的特性: Nt&}T -deY,% 基于物理光學(xué)的計(jì)量系統(tǒng)仿真 PFG):i-? 包含部分相干和衍射效應(yīng) 5cxA,T 尤其對(duì)傾斜和偏移的公差分析 NV*aHci 真彩色獲取 +sE8
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