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VirtualLab Fusion 軟件可以對(duì)光學(xué)測量系統(tǒng)進(jìn)行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 ]
Li(E: PI }A')Nq. 很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動(dòng)特性。典型的器件有: Z EG fa$ Fo(. 干涉儀 FzW(An&x2 光譜儀&單色儀 y\ouIsI77 表面計(jì)量系統(tǒng)
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