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該案例介紹了一個正弦光柵的仿真,該光柵表面具有隨機變化的粗糙度結構。此外,分析了對衍射級次的影響,特別是衍射效率。 zG }@0 &xU[E!2H% 1. 建模任務 _?-E7:Sw YDIG,%uv
evya7^,F 一個正弦光柵不同衍射級次的嚴格分析和優(yōu)化。 Q0)#8Rcm 對于該仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 .8 2P(}h Ryl:a\ 2. 建模任務:正弦光柵 ])[[ V!1 8f_l}k$Eg x-z方向(截面視圖) zUt'QH7E. l?E{YQq] R6 y#S&]x 光柵參數(shù): $|zX| 周期:0.908um fnpYT:%fG
高度:1.15um Rm2yPuOU}A (這些參數(shù)提供了一個具有均勻分布傳輸效率0級和±1級衍射級次,詳見案例341)
YC*"Thuu |-b#9JQ[A 3. 建模任務 UBv,=v X1:V<,}"
L\37xJo raW>xOivR <3oWEm VirtualLab光柵工具箱提供的光柵級次分析器,可對光柵衍射效率進行嚴格的計算。 L{#IT. hE &xE; 利用該分析器,也可以分別計算出現(xiàn)的每個衍射級次的衍射效率。 2pZXZ ?Lx24*5%
kc2PoJ Mhm@R@ 4. 光滑結構的分析
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