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    [分享]粗糙表面光柵的模擬 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-12-23
    案例87.01：粗糙表面光柵的模擬 1]eRragm"  
    J{.UUw9Agd  
    即將模擬一個具有隨機粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵（General Grating 2D）元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 <e?Eva%t`  
     tv.<pP9-C  
    關(guān)鍵詞：光柵，光柵工具箱，粗糙表面，可編程光學(xué)界面，光柵元件 HFI0\*xn(  
     yW (|auq  
    要求工具箱：光柵工具箱 ~bC A8  
     W7 dSx  
    相關(guān)應(yīng)用案例：案例090.01，案例246.01 vXRY/Zzj1  
    6o7t eX  
    一、模擬任務(wù)： (S?Y3l|  
    二、光柵的描述 #XA`n@2Uoo  
     9aY8`B  
    1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓，其周期為5μm，調(diào)制深度為468nm（使得最內(nèi)側(cè)三個級次的效率相同）。 BkGEx z  
     IlB8~{p_  
    2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機的變化，由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 (or"5}\6-  
     TKv!wKI  
    3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數(shù)：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和總高度調(diào)制（Total Height Modulation）。使用種子（Seed）變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個可再生的結(jié)果。 l"%80"zO  
     UUlz3"`  
    4. 變量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” vM6W64S  
     d_M+W@{  
    下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖，其“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”為50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為不同的值。 M|K^u.4  
     #aU!f"SS  
    1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為0 T1 $E][@Iv  
    P+}~6}wJE  
    V7Cnu:0_  
    xdm