建模目的:如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合,以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵,并進(jìn)行近場分析和內(nèi)部場分析 .?vHoNvo 工具箱:光柵工具箱 ~&aULY?)] 關(guān)鍵詞:矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點列界面 近場分析 內(nèi)部場分析 [vY#9W"! 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù): h,?%,GI 圖1:光柵參數(shù)示意圖 TSD7R
使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 Xs{PAS0
W#+f2 RR 1) 操作如下圖(1)(2):解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram),生成光柵光路圖, 如下圖(3) -=cm7/X (1)
j1;<3)%0 (2)
qSGM6kb (3) ;X^#$*=Q
圖2:使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖 KL6B!B{;
2) 雙擊
,進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function),確定基板材料和厚度,并選擇堆棧界面。 NB4Q,iq$
@j!(at4B 圖3:使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 le'
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3) 進(jìn)入堆棧界面,即堆棧編輯窗口(Edit),通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface),矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 Er;q