建模目的：如何將矩形光柵界面和轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Inerface)進(jìn)行組合，以構(gòu)建復(fù)雜結(jié)構(gòu)光柵，并進(jìn)行近場分析和內(nèi)部場分析 >b\{y}[ 工具箱：光柵工具箱 u@&e{w~0 關(guān)鍵詞：矩形光柵界面 轉(zhuǎn)變點列界面 近場分析 內(nèi)部場分析 Qa`+-W u8 組合光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)： "x1?T+j4 圖1：光柵參數(shù)示意圖 D6+^Qmu"p
使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模 ob3)bI oM
9w3KAca 1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) To/6=$wto (1)
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圖2：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟1)示意圖
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2) 雙擊
，進(jìn)入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結(jié)構(gòu)與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 \_io:{M
>]{{5oOQ> 圖3：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟2)示意圖 ;Mw<{X-
3) 進(jìn)入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Interface)以構(gòu)建矩形組合光柵。 { CH5`&
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(2) +{~ cX] |
(3)
圖4：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟3)示意圖 B:)PU Bb
4) 點擊
，進(jìn)入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結(jié)構(gòu)參數(shù)，并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 μm，如下圖所示 tJe5`L
,#Pp_f< 圖5：使用VirtualLab光柵工具箱進(jìn)行建模步驟4)示意圖 O0l1AX"
5) 點擊
，進(jìn)入轉(zhuǎn)變點列界面(Transition Point List Interface)編輯窗口(Edit Transition Point List Interface)，輸入光柵二和光柵三兩種光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)：
