通過從
光學(xué)分析
模型文件中讀取表面處方數(shù)據(jù)并編寫可由光學(xué)分析
軟件讀取的宏文件來(lái)與光學(xué)分析軟件接口。SigFit編寫的宏文件將修改名義光學(xué)分析模型,以納入機(jī)械干擾的影響。這些干擾可能是表面運(yùn)動(dòng)和形狀變化,集成的OPD或
折射率分布。
yh Ymbu aG\B?pn- 熱光分析 bwh.ekf8 Ok~\ 熱光分析涉及預(yù)測(cè)由于透射光學(xué)中溫度變化引起的折射率變化而引起的光學(xué)性能變化。如圖1所示,SigFit從熱有限元模型和熱光
材料特性中獲取溫度分布預(yù)測(cè)值,并能夠使用兩種方法進(jìn)行熱光預(yù)測(cè):OPD積分方法和用戶定義的梯度指數(shù)方法。
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