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speos
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發(fā)表于: 2020-12-27
通過從
光學(xué)
分析
模型
文件
中讀取表面處方數(shù)據(jù)并編寫可由光學(xué)分析
軟件
讀取的宏文件來與光學(xué)分析軟件接口。SigFit編寫的宏文件將修改名義光學(xué)分析模型,以納入機械干擾的影響。這些干擾可能是表面運動和形狀變化,集成的OPD或
折射率
分布。
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熱光分析
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