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1. 摘要 lph3"a^
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共聚焦掃描顯微技術(shù)在1950年代由ML Minsky發(fā)明并獲得專(zhuān)利，后來(lái)以激光作為光源，現(xiàn)已得到了廣泛的應(yīng)用。通過(guò)使用空間針孔來(lái)阻擋離焦平面散射或反射的光， 促進(jìn)提高縱向分辨率和對(duì)比度。 在此示例中，我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)共焦掃描顯微鏡，并使用具有變化的脊和槽的金屬光柵作為測(cè)試對(duì)象來(lái)演示其工作原理。 .s| n}{D_i
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 !o*BRR* StWDNAf) 2. 建模任務(wù) 5oplV(<?*S
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共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的，并且探測(cè)功率隨目標(biāo)橫向位移產(chǎn)生的變化？ K;G1cFFyG
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 r!yrPwKL jHBn^Nly 3. 聚焦區(qū)域的探測(cè)場(chǎng) zzuDI_,/
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 kR6rf_-[ TQ" [2cY 4. 來(lái)自測(cè)試對(duì)象的直接反射 + H_J r'/
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2"zz/N{ @g[p>t> * 5. 待測(cè)目標(biāo)成的像 d6<,R;) P$2J`b[H$
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