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摘要 !y.7"G* k=}hY+/= 像光柵這樣的光學設備對光的偏振比較敏感。 因此，在仿真中適當考慮光的偏振非常重要。 在實際中，光柵有時會以非偏振光作為輸入。 作為兩個正交偏振態(tài)的平均值，我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此，我們提供了示例來說明軟件中的相應設置。 ;GSj }Nq
$la,_ Sr
 cB^lSmu5 ^` THV 光柵仿真中的非偏振光 uyIA]OtyN •光柵分析 *fZ'#C~x −對于使用傅立葉模態(tài)方法（FMM / RCWA）的單光柵分析，使用平面波入射來計算 u)-l+U. 例如：作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 ww,'n{_ 3&f{lsLAC •非偏振平面波 r9[J3t*({~ −考慮到沿z方向的平面波，可以將非偏振光視為同一時間可以處于任何偏振態(tài)。 zT"#9 "[" −任意偏振態(tài)可以沿兩個正交基底投影，并且統(tǒng)計上，非偏振光沿兩個正交基底給出相等的投影。 TuL(
/ −因此，我們可以使用兩個正交狀態(tài)的平均值，并以非相干方式表示非偏振光。 `^ok5w"oi
X,~ C&#
 mDUS 9 > 3 ( kZfH~ 光柵仿真中的光源設置 *v&RGY[> •手動控制光源偏振態(tài) |EunDb[Y −在VirtualLab Fusion中，光始終以矢量形式表示，并且可以完全控制光源設置中的偏振態(tài)。 R}FN6cH −按照基本概念，可以根據非偏振光的需要，以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如，通過選擇TE和TM偏振作為兩個正交基，分別執(zhí)行光柵仿真，然后通過功能區(qū)菜單功能手動平均結果。 [PT}!X7h
Tec6]
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 X@rAe37h+ NG ~sE&,7 光柵仿真中的偏振相關分析器 %O k.XBS) •光柵偏振分析器 gC_U7a
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