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摘要 y3{'s>O6 [nZf4KN 像光柵這樣的光學(xué)設(shè)備對光的偏振比較敏感。 因此,在仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實際中,光柵有時會以非偏振光作為輸入。 作為兩個正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 sG[v vm zP$0B!9
k&wCa<Rs~R Yj3j?.JJk 光柵仿真中的非偏振光 XP'<\ •光柵分析
YRa{6*M −對于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計算 0tyoH3o/d 例如:作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 _&)^a)Nu ]rGZ •非偏振平面波 :,Z'/e0& −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時間可以處于任何偏振態(tài)。 ;rXkU9 −任意偏振態(tài)可以沿兩個正交基底投影,并且統(tǒng)計上,非偏振光沿兩個正交基底給出相等的投影。 .sI*\@w. −因此,我們可以使用兩個正交狀態(tài)的平均值,并以非相干方式表示非偏振光。 h\| ~Q.kG }N[|2nR'
@SeInew;`l "Zm**h.t 光柵仿真中的光源設(shè)置 ;,2i1m0" •手動控制光源偏振態(tài) b* k= −在VirtualLab Fusion中,光始終以矢量形式表示,并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。 H3\4&q −按照基本概念,可以根據(jù)非偏振光的需要,以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如,通過選擇TE和TM偏振作為兩個正交基,分別執(zhí)行光柵仿真,然后通過功能區(qū)菜單功能手動平均結(jié)果。 sdN@ZP HY-7{irR~
B_R
J;.oH W%&t[_21 光柵仿真中的偏振相關(guān)分析器 [rk*4b
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