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摘要 9D_wG\g gA:TL{X0 與傳統(tǒng)光柵相比,尤其是在非傍軸情況下,超光柵具有優(yōu)勢。在此示例中,我們設計了一個將入射光束分成3x3光束的二維(2D)超光柵。超光柵由圓形納米柱構成,并且在VirtualLab Fusion中,我們使用FMM / RCWA評估超光柵的衍射效率。 并且,我們展示了如何使用參數(shù)優(yōu)化工具來提高衍射效率的均勻性。 ^#SBpLw J_"3UZ~& ;h=S7M9. 2P}I'4C- 設計任務 _Z#eS/,O@ uw_?O[ZA[ >4)g4~'n! )/Y~6A9> 僅位相透射設計(IFTA) '`o[+. WYO\'W TVkcDS /bcY6b=: 僅位相透射設計(IFTA) [b1hC ~I; r*d Q5
_ [m#NfA:h, G11cNr>* 超表面晶胞分析 Q_}n%P:u K2|7% %zljH"F dU+0dZdKO 構建超光柵 E+{5-[Zc*$ eP
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