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2J 摘要 2ncD,@ij rT&rv^>f
uPmK:9]3R zF)&o} 斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測量儀器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。 q)m0n237P V1P]mUs{1 建模任務(wù) j$<sq 2`Ojw_$W7
v_ U$jjO1 ?ufX3yia 觀測傾斜平面 SJ4+s4!l
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