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摘要 q/U-WQ<+ lp*5;Ls'q 可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描,以研究指定結構在不同配置下的性能。 AArLNXzVW #rHMf%0 ~B<\#oO 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) {/[@uMS_6] mF
gqM: 建模任務 $.,PteYK o!xCM:+J Gm+D1l i ^C gg1e1 單次FMM仿真結果 l,n_G/\ /cS8@)e4 &0
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