-
UID:317649
-
- 注冊時間2020-06-19
- 最后登錄2025-02-07
- 在線時間1683小時
-
-
訪問TA的空間加好友用道具
|
摘要 \~H"!vj Ji[w; [qL 可用于嚴(yán)格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中,可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴(yán)格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果(例如光柵階次匯集、單值等)。與參數(shù)運行結(jié)合使用,可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描,以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 ;i#gk%-
2 VV4_ D_)vGvv3;. 傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA) z} \9/` }00e@a 建模任務(wù) C(P$,;6 DRIv<=Bt NE4fQi?3 %dU}GYL_ 單次FMM仿真結(jié)果 .2P?1HpK Vwqfn4sx?i ^Bb_NcU S_CtEM 參數(shù)掃描(1D) 1m)/_y~1
k $S}x'F!4_ VfwD{+5 ;R!H\ 參數(shù)掃描(2D) p o`$^TB^+ kt#W~n w3Ohm7N[ ,H?p9L; qp 文件信息
|