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摘要 Kv!CL9^LX7
ShHm7+fV
可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運行結合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定結構在不同配置下的性能。 eH=lX9
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 HRje4=: 傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） xQ7>u -^
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