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作為衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法,薄元近似(TEA)在計算薄衍射元件的衍射效率時非常有效。 但在另一方面,當(dāng)衍射光柵的周期小到可以與波長相比較時,這種近似將會變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓(正弦和閃耀),并應(yīng)用TEA和嚴(yán)格的FMM / RCWA進行分析,用來比較兩種方法的結(jié)果。 (Y%pk76d =7uxzg/%Tj 用于光柵建模的TEA與FMM rXlJW]i jO#5ZhG
![](http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/200420/1-200420133456213.png) DkGC+Dw 我們同時使用TEA和FMM(也稱為RCWA)來分析兩種周期不同的光柵(正弦光柵和閃耀光柵),并比較了兩種方法的結(jié)果。 BiUbg6T.G 7 xm>+( 閃耀光柵的傅里葉模態(tài)分析 0(!D1G{ul #Y;_W;#
![](http://www.infotek.com.cn/uploads/allimg/200420/1-20042013351D11.png) 'm,3znX!c 在VirtualLab Fusion中,傅里葉模態(tài)方法(FMM)可用于光柵效率的嚴(yán)格分析。
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