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摘要
WN<zkM~3 vcd\GN*4f 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 wdZ/Xp9] ]s748+
.x1NWGDn hpJ-r 光柵詳細(xì)說明 #o2[hibq D,ln)["xm
FCn_^l)EA 6`-jPR •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 E.>4C[O •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 7[wieYj{ .>nRzgo 光柵階次分析器設(shè)置 !g.? <Ok3FE.K •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 y)gKxRaCS •可以指定各種輸出選項。 cs'{5!i] •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 v9->nVc- FsryEHz
DFTyMB1H as_PoCoss 常規(guī)設(shè)置 eR"
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