摘要 d0 V>;Q  
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對(duì)于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問題。對(duì)于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于預(yù)定義方向的級(jí)次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 {u.V8%8  
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VirtualLab Fusion的工作流程 !7xp<=  
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•構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu) #dpt=  
- 使用特殊介質(zhì)配置光柵結(jié)構(gòu)[用例] |~HlNUPR  
- 傾斜光柵的高級(jí)配置[用例] 2 !;4mij,  
•分析光柵衍射效率 s3+O
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- 光柵級(jí)次分析器[用例] S-rqrbr|AT  
•使用參數(shù)優(yōu)化優(yōu)化光柵參數(shù) `C*!de]Y%  
•使用參數(shù)運(yùn)行進(jìn)行容差分析 @&Nvb.5nT  
- 參數(shù)運(yùn)行文檔的用法[用例] 7 YK+TGmU^  
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VirtualLab Fusion技術(shù) !%u#J:z2  
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