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微晶玻璃鍍膜AF,摩擦測試NG!
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微晶玻璃鍍膜AF,摩擦測試NG!
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chenenlin
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發(fā)表于: 2021-03-15
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,最佳答案獲得者:ouyuu
關(guān)鍵詞:
玻璃鍍膜
有誰有相關(guān)經(jīng)驗(yàn),歡迎大家討論,同鍋鍍膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/藍(lán)寶石,測試結(jié)果都OK
_=HaE&
設(shè)備
試過濺射設(shè)備(新克隆/光馳)/蒸鍍(光馳/新克隆/聯(lián)合真空)
L3b0e_8>R
AF克藥試用很多種類,沒有改善效果。
riW9l6s'
初步分析是摩擦后打底層脫落,打底
材料
試過P藥/AL203/SIO2。
]'5Xjcx
玻璃
成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI
Y_CYx
現(xiàn)懷疑是清洗導(dǎo)致表面附著--硅酸鋰和硅酸鈉(希望大家給些清洗建議),驗(yàn)證不清洗比清洗后效果要好。
CcQc!`YC
有沒有誰有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)的,歡迎探討!
(.UU40:t
0/v]YK.
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@ouyuu
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ouyuu
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發(fā)表于: 2021-03-19
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如果是基底問題的話,你蒸鍍前用離子源(AR)使勁轟個(gè)十五分鐘。
LDQ,SS,
這種情況下離子源基本上可以把基板打薄2nm,怎么都不會(huì)有問題了。
}||u{[
CHGa_
而且離子源轟擊還有個(gè)好處,可以增加基板表面的粗糙度。
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tony肖
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發(fā)表于: 2021-06-22
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再加一槽清洗劑去除硅酸
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chenenlin
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3樓
發(fā)表于: 2021-03-20
感謝回答!
~Ykn|$_"I
以上方案試過了,附著物估計(jì)是微米級別的,離子源沒有辦法清理干凈。
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chenenlin
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4樓
發(fā)表于: 2021-06-25
請問一下,使用什么清洗劑?
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傷城vs霧都
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5樓
發(fā)表于: 2021-06-28
鍍膜后超洗使用的洗劑PH值很關(guān)鍵,有沒有試過氧化鈦打底。
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聶光輝
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6樓
發(fā)表于: 2022-03-05
果是基底問題的話,你蒸鍍前用離子源(AR)使勁轟個(gè)十五分鐘。
ai-s9r'MI?
這種情況下離子源基本上可以把基板打薄2nm,怎么都不會(huì)有問題了。
[XY%<P3D
^m%#1Zd
而且離子源轟擊還有個(gè)好處,可以增加基板表面的粗糙度
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