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摘要 *hhPCYOm K.y2 $b/ 對于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說,光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應(yīng)用,眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次,優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90%。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 'y(;:Kc :ET05MFs\# 6TN!63{Cz i+x$Y)= 建模任務(wù) cQ= "3M)~r g"Eg=CU 3#{{+5G WE_jT1^/ 1階的參數(shù)優(yōu)化 ' }G!D "pP5;*^f !H,_*u. So&an ! 結(jié)果-容差分析 YL(7l|^! zG\g{cB Q_ zGs6 dQ&S&SW 結(jié)果-容差分析 :6~DOvY WD wW` \E9Hk{V:6 9ghZLQ 在VirtualLab Fusion中查看 ^tWt"GgC 9.<d
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