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案例246.01：鍍膜正弦光柵中光衍射的精確模擬 5~,usA *
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U 這個(gè)案例演示了對(duì)于鍍膜光柵的嚴(yán)格模擬，它說(shuō)明了鍍膜對(duì)所有反射級(jí)次的總反射效率的影響。 ,,}&
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5/w4 [d 關(guān)鍵詞：嚴(yán)格分析，F(xiàn)MM，正弦光柵，鍍膜 $"e$#<g
(U`<r -n\n 所需工具箱子：光柵工具箱 V -X *e
7 XM:4whw 相關(guān)案例：G.001a,Scenario 104.01 ;T-`~
zCz"[9k 建模任務(wù) uV=ZGr#o bd'io O 加載例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一個(gè)正弦光柵，使用光柵效率分析器分析光柵。 Vi 9Kah+ lE=&hba  z WO!z =
rq(9w*MW: Zb&5)&'X 為了在嚴(yán)格模擬時(shí)添加鍍膜，必須將堆棧作為一個(gè)序列的表面和材料添加進(jìn)來(lái)。點(diǎn)擊Stack Tools,選擇Insert Coating。 T<ka4
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選擇光學(xué)界面no.1作為鍍膜表面。點(diǎn)擊 按鈕來(lái)載入膜層目錄。 #MyF 1 E zg}#X6\G<_
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選擇Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,點(diǎn)選Stack01_632.8nm。選擇OK關(guān)閉對(duì)Edit Coating Tool話框。 j|-{*t{/x
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堆棧編輯器包含頂層表面的膜層。點(diǎn)擊OK關(guān)閉堆棧編輯器。點(diǎn)擊底部的OK按鈕來(lái)關(guān)閉元件對(duì)話框。使用光柵效率分析器分析光柵。 e'd x
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X線偏振光模擬結(jié)果： s=8$h:^9>
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探測(cè)器主窗口中可以看到結(jié)果信息，鍍膜后的反射率顯著加強(qiáng)。 q.:j
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在Ideal Plane Wave 光源編輯對(duì)話框中改變偏振態(tài)為y方向線偏光。這里有兩個(gè)預(yù)先設(shè)置好的例子文件來(lái)演示y線偏光。 Nu,t,&B
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Y線偏光模擬結(jié)果 J ]ri|a
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對(duì)于y線偏光同樣鍍膜會(huì)顯著增加反射率。 yc7 "tptfF
結(jié)論： !QsmT3
嚴(yán)格的鍍膜光柵模擬需要將膜層定義為序列的表面。光柵工具箱允許分析使用VirtualLabTM自帶的膜層庫(kù)中的膜層鍍膜效果。VirtualLabTM可以考慮膜層在法矢方向上厚度的減小，這是加工過(guò)程中經(jīng)常出現(xiàn)的問(wèn)題。 v"x'rx#
QQ：2284816954 備注：光學(xué) 2=
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