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摘要 g7w#;E
T4J
WZ 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 v5I5tzt*%H <'jygZ( 1. 本案例主要說明: LWxP}? = 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: 3*F|`js" - 基于介質(zhì)的定義類型 rcf#8 - 基于表面的定義類型 W6)XMl}n 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 P
V9q= 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 _QtW)\)5\ fc<,kRp 2. 光柵工具箱初始化 fG<[zt\e 初始化 `uc`vkVZ - 開始→ BOl*. t 光柵→ )LL.fPic 一般光柵光路圖(3D光柵) ;
X/'ujg U9Lo0K t&C0V|s79$ 注意:對(duì)于特殊類型的光柵,如柱狀光柵,可以直接選擇特定的光路圖。 "77l~3 rD>q/,X=\ 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 I^O`#SA
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