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摘要 Pd7\Q]of
J9lZ1 ,22
當(dāng)用近軸光照明時(shí)，亞波長(zhǎng)光柵僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級(jí)，因此在這種情況下無(wú)法成圖像。為了克服這一問(wèn)題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光透鏡來(lái)為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場(chǎng)將由另一個(gè)高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過(guò)程，包括使用傅立葉模態(tài)法對(duì)亞波長(zhǎng)光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 3 (e_2v
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b 1. 建模任務(wù) y#Dh)~|k
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WEwa<%Ss 2. 結(jié)果 PC9,;T&7_
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