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摘要 BGlGpl koncWyW 當用近軸光照明時,亞波長光柵僅產生一個衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴格模擬。 HsjELbH ]=?X*,' ueWR/ t-*VsPy 1. 建模任務 629~Uc6] )Y&MIJ7>@ g{g`YvLu^ 5YTb7M 2. 結果 _XH4;uGg pgz:F#> xQNw&'|UU *<`7|BH
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