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    [分享]鍍膜傾斜光柵 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-04-29
    鍍膜傾斜光柵通過VirtualLab的可編程光柵元件生成。該光柵不同厚度的反射率可以在參數(shù)運行中（Parameter Run）進行分析。 +z|UpI  
    cRh\USS  
    關(guān)鍵詞：光柵，鍍膜，傾斜光柵，可編程光柵，參數(shù)運行（Parameter Run） mT6q}``vtG  
    .vN%UNu  
    所需工具：Grating Toolbox Basic t0e{| du  
    [Iw>|q<e  
    相關(guān)Tutorials：G.001; G.014 lC=N:=Mu  
    建模任務(wù) cXS;z.M\_  
    Y  .  
    理想平面波照射 2"leUur~rO  
    O xT}I  
    ut4r~~Ar  
    }A1|jY)x  
    Yz=h"Zr  
    u3Usq=Ij{  
    鍍膜傾斜光柵          目標平面 X<~k =qwA  
    BFMS*t`  
    周期：10um E+}GxFG-:  
    厚度：10um VyecTU"W  
    傾斜角度：20度 5=Kq@[(4  
    s>jr1~~3O_  
    光柵的參數(shù) E3S%s  
    -(\1r2 Y  
    —傾斜角度                           1—（光柵）前面的介質(zhì) By?nd)  
    —填充因子                           2—后面的介質(zhì)     J}Qs"+x  
    —膜層厚度                           3—膜層材料 #y=ZP:{:t  
    —光柵厚度 M*5,O   
    ?}'N_n ys  
    7 9Qc`3a  
    Nfv="t9e  
     m$fQ