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本案例介紹利用衍射擴散器使準分子激光光束均勻化,通過優(yōu)化擴散器以生成一個圓形的top hat。 QAiont ,! .H,v7L,~88 關鍵詞:衍射光學,衍射光學元件,均勻(homogenization),擴散器,準分子激光,部分相干 Si[:l Cnp\2Fu/ 所需工具箱:Starter Toolbox Premium t)Q6A@$: *T(z4RVg 相關Tutorials:HSL.1, DO.2
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NEV 建模任務 lFMQT
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e 照射光束參數(shù) :_R[@?c 34lt?6%j ·光源面尺寸:100×100um ,A`.u
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