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摘要 LxaR1E(Cc' VX0q!Q 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到,對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 T<1*R>el mxUM&`[
is@8x!c w-9M{Es+j 光柵詳細(xì)說明 YTP6m9hA+ vDl6TKXcu
8D7=] xV@/z5Tq •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 X&R,-^ •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對話框中訪問該參數(shù)。 -wJ/j~+m+ 7@iyO7U 光柵階次分析器設(shè)置 d(!W kH:! 7L_= •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 J;"66ue(d •可以指定各種輸出選項。 ^UTQcm •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對話框。 xaiA2 fy&vo~4i;
pV`?=[h9 v53qpqc 常規(guī)設(shè)置 Bs7/<$9K/ q
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