最近在搞射頻源，大致已經(jīng)有眉目了。 '3^'B03  
具體參數(shù)如下：口徑175mm; {8bSB.?R  
陽極電壓500~1200V，電流500~1200mA(自動(dòng)匹配）; a~y'RyA  
射頻陰極電流500~2000mA。（自動(dòng)匹配） B>P{A7Q  
啟動(dòng)時(shí)間比較短，大概5分鐘就能達(dá)到平穩(wěn)。 uiR8,H9*M  
冷卻時(shí)間需要比較長，大概10~30分鐘。 w@w(-F!%l  
'c$+sp ?  
柵網(wǎng)壽命大概2年左右，100小時(shí)保養(yǎng)一次，陰極50小時(shí)保養(yǎng)一次。

這個(gè)陰極保養(yǎng)時(shí)間有點(diǎn)短了

陰極保養(yǎng)時(shí)間主要看冷卻時(shí)間。 T{[=oH+  
一般要求陰極冷卻30分鐘后開門，但是國內(nèi)客戶一般等不了這么長時(shí)間， ]>Es4 s  
10分鐘左右就開門了，這種情況下陰極的氧化就會(huì)比較快。 PALc;"]O  
所以只能多做保養(yǎng)。 GC}==^1  
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如果你能每罩等三十分鐘充分冷卻的話，其實(shí)中和器不保養(yǎng)也沒多大問題。 &6nWzF  

射頻對比，國產(chǎn)能達(dá)到也不錯(cuò)了，希望越來越好

很多干擾因素會(huì)更多。有機(jī)會(huì)也會(huì)試試5+912651