最近在搞射頻源,大致已經(jīng)有眉目了。 a_5s'Dh
具體參數(shù)如下:口徑175mm; sZ&|omN
陽極電壓500~1200V,電流500~1200mA(自動匹配); L@AFt)U
射頻陰極電流500~2000mA。(自動匹配) Eq;w5;7s
啟動時間比較短,大概5分鐘就能達(dá)到平穩(wěn)。 b:Zh|-
冷卻時間需要比較長,大概10~30分鐘。 CV"}(1T
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柵網(wǎng)壽命大概2年左右,100小時保養(yǎng)一次,陰極50小時保養(yǎng)一次。