一、電控柜的操作 +"P!es\q  
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1.      開(kāi)水泵、氣源 -!Ov{GHr0  
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2.      開(kāi)總電源 wlC7;u  
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3.      開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。 
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4.      開(kāi)機(jī)械泵、予抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、啟動(dòng)，真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。 B7QuSo//  
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5.      觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)予抽，開(kāi)前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能開(kāi)電子槍電源。 @O]v.<8  
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二、DEF-6B電子槍電源柜的操作 *OM+d$l!  
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1.      總電源 .#Vup{.  
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2.      同時(shí)開(kāi)電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān)，延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅，若后門(mén)未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮。 q0sdL86  
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3.      開(kāi)高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA， Q0j4c  
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燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。 {e]ktj#+{  
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三、關(guān)機(jī)順序 k`(Cwp{Oc  
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1.      關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。 |#i|BVnoE  
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2.      待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘。 Od]B;&F  
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3.      到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵。 :iEIo7B  
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ZZSX-800 真空鍍膜機(jī) 北京儀器廠 2000年7月 YQ$Wif:@(n  
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鍍膜室尺寸：￠800mm×1000mm 9er0Ww.d  
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極限壓力：5×10-4 Pa ~