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[分享]用于微結(jié)構(gòu)晶片檢測的光學系統(tǒng) [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2021-06-08

摘要

在半導體產(chǎn)業(yè)中，晶片檢測系統(tǒng)用于檢查晶片上的缺陷并找到它們的位置。為保證微結(jié)構(gòu)的圖像解析度，檢測系統(tǒng)常使用一個高NA的物鏡，工作在紫外波長范圍。作為一個例子，模擬了一個完整的晶片檢測系統(tǒng)，包括高NA聚焦效應和光與微結(jié)構(gòu)的互作用，并演示了圖像的形成。