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摘要 :'iYxhM.V }Gyqq6Aeb 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到,對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 JM- t<. cWyW~Ek
9ZXlR?GA j _L@U2i 光柵詳細(xì)說明 XolZonJr \p{5D`HY
svf|\p>]H ::FS/Y]Fg •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 zOgTQs"ZH •可以在堆棧中指定光柵參數(shù),并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問該參數(shù)。 *^%Q0mU[ DwHF[]v' 光柵階次分析器設(shè)置 4;`oUt'. Z[__"^} •定義光柵結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。 A+J*e •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 ?`zXLY9q7 •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開分析器的編輯對(duì)話框。 'R`tLN B33$pUk
p~HW5\4 JM1R ;i6 常規(guī)設(shè)置 t58e(dgi b306&ZVEk
HK|ynBAo &nBa=Enf •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中,可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 Q'_z<V •另外,可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和,以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 AKMm&(fh% ^WBuMCe
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