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摘要 7X
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?+Gc.lU &!i'Q;q 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例,在非序列場追跡技術(shù)的幫助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 mV!Ia-k ^u2unZ9BK! 建模任務(wù) QA|87alh ]JDKoA{S0
stGk*\>U' |Y|6`9; 由于組件傾斜引起的干涉條紋 5rp,xk! pHKcKqB*13
a(.q=W HGycF|]2 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 mq#8[D hc7"0mVd{
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