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1. 摘要 BB? 4>#D w*gG1BV 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時(shí)才會出現(xiàn)干涉圖樣。 .\"8H1I\T WI-I+0sE \mNN ) K@ 1"RC! 2. 建模任務(wù) :E2 ww` Z<[:v2
"IRF^1 p {w<"jw&2 3. 干涉條紋的變化 /(DnMHn\ ]Tn""3#1g
IkgRZ{Y }k_'a^;C1 4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion 9+I/bl4 Ypx"<CKP}
8]xYE19= __,F_9M 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ;AJ6I*O@+ 8l
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- 使用“參數(shù)運(yùn)行”檢查影響/變化
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