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    [分享]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-07-13
    成像系統(tǒng)>包括光柵 z^gQ\\,4  
    5)d,G9  
    任務(wù)/系統(tǒng)說(shuō)明 %\}dbYS '  
    R`@8.]cpPy  
    xvwD3.1  
    S'Z70 zJ  
    亮點(diǎn) <XQN;{xSa  
    SON ^CvMs{  
     $ \Q<K@{  
    a>o"^%x  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） qri}=du&F  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 aBXYri  
     考慮入射光的方向分布 h8f!<:rTS  
    zmrQf/y{R  
    說(shuō)明：光源 ^>N8*=y  
    1MbY7!?PG  
    Ur'9bl{5  
    7?6xPKQ)H  
    說(shuō)明：光束分束器