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JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 'E/*d2CDM( 1c3TN#|)W 現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。 4c
oJRqf= 8h3=b[ 計算光刻 ]2# ~!s-o|N_\ q)H1pwxD =U8a ?0 JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈:對復(fù)雜照明的描述,通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計算,直至在光刻膠中形成圖像。 ]{"Br$ ,NnhHb2\ 計算計量學(xué) ZX ?yL>4 @L.82p{h A+y
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