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本案例計(jì)算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 7*D*nY4+ 關(guān)鍵詞:衍射光學(xué),衍射光學(xué)元件,結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù),GDSII,ASCII,位圖 Hjho!np 所需工具箱:Diffractive Optics Toolbox Basic;Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商可申請一段全版本的試用。 #:C?:RMS 相關(guān)Tutorials:DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 R['k&jyi 3)5Gzn 建模任務(wù) X}!r4<;( z@\r V@W5 N9lCbtn(0x '%k<? * Zjo8/ 照射光束強(qiáng)度 衍射擴(kuò)散器 產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 f(Hh( 3F/05}d` 建模任務(wù) IIn0w2:i m@qM|%(0x OIT9.c0h 2 擴(kuò)散器參數(shù): G'*_7HD —相位層:4 w>RBth^p —像素尺寸:830*830nm GQZLOjsop ?B&Z x-krd —口徑:1*1mm ~hJ/&,vH! —周期:664,83*664,83um }=d]ke9_ 2 結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 rkp 1tv 2 需要的高度分布計(jì)算 C&d%S|:IR 2 蝕刻掩模分解 K]0Q=HY{. 2 蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 <4caG2~q b?h)~j5
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