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    [討論]8微米氟化鎂膜成膜問題 [復制鏈接]

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    離線starofage
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-08-12
    關鍵詞： 氟化鎂
    最近功能性需求需要鍍8微米的氟化鎂膜，用的電子槍蒸發(fā)，鍍完后表面全部像雪花一樣掉膜，是什么原因�。坑惺裁锤纳品椒�？
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2021-08-19
    氟化鎂可以用阻蒸，速度快一點，溫度高一點。
    離線a013109425
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2021-08-21
    是否鍍膜真空過高
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2021-08-24
    make一下
    離線starofage
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2021-08-27
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:氟化鎂可以用阻蒸，速度快一點，溫度高一點。 (2021-08-19 20:59)  OM\J4"YV$  
    ;28d7e}  
    是基片溫度高點嗎？我加的300°
    離線starofage
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2021-08-27
    回 a013109425 的帖子
    a013109425:是否鍍膜真空過高 (2021-08-21 17:13)  b fxE}>  
    "Lp.*o  
    真空度1-2x10-3pa
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2021-10-19
    這個材料用的少不清楚
    離線fly6947
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2022-01-04
    MGF2應力太大了  超過2um風險就比較大，溫度降低，用阻蒸做，可適當改善