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Zemax光學(xué)設(shè)計從入門到精通	Zemax光學(xué)設(shè)計從基礎(chǔ)到實踐	成像衍射光學(xué)元件設(shè)計及應(yīng)用	現(xiàn)代光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計與光學(xué)元件	計算光學(xué)帶來的成像革命

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[求助]磁控濺射靶的問題 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-03-11

— 本帖被 cyqdesign 從光學(xué)資源移動到本區(qū)(2007-04-06) —

就我所用的磁控濺射儀，磁控濺射的靶在用一段時間之后，在靶邊緣的特定區(qū)域總是會發(fā)藍(lán)，尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶，請問是怎么回事？還有濺射鍍膜的均勻性不好，有什么可以改善的方法嗎？