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    [技術(shù)]JCMSuite應(yīng)用—衰減相移掩模 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-09-15
    在本示例中，模擬了衰減相移掩模。 該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。 掩模的單元格如下圖所示： UzG[:ic%  
    *if`/N-q(m  
     fjG&`m#"  
    /M=3X||  
    掩模的基板被具有兩個(gè)開(kāi)口的吸收材料所覆蓋。在其中一個(gè)開(kāi)口的下方，位于相移區(qū)域。 56}X/u  
     Vzg=@A#  
    由于這個(gè)例子是所謂的一維掩模(線/空間模式)，在xy平面中有一個(gè)2D仿真域。在源文件中設(shè)置3DTo2D = yes標(biāo)簽，以執(zhí)行用戶自定義傳入方向的自動(dòng)轉(zhuǎn)換。啟用此標(biāo)記后，就可以描述傳入?yún)^(qū)域，就好像光軸與Z軸重合一樣。這允許統(tǒng)一設(shè)置2D和3D的掩模模擬項(xiàng)目。由于光線從基板下方進(jìn)入，光線的傳輸方向?yàn)?Z方向。 N|usFqCNk^  
     ,Nm$i"Lg  
    相位分布如下圖所示： ]a'99^?\  
    5B4Ssrs5W~  
     iE].&>w  
    F3M aqr y  
    相移區(qū)域的影響清晰可見(jiàn)，導(dǎo)致開(kāi)口上方光束的180度相位差。同時(shí)光場(chǎng)的S和P分量也顯示出相位差： j;0vAf  
    sG7u}r  
     P8Qyhc  
    WXw}^v  
     jgv`>o%<W  
    QQ：2987619807 x;s0j"`Jb  
     
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